理聘网-单位详情页，中国科学院大学集成电路学院韦亚一课题组

单位简介： 中国科学院大学微电子学院（以下简称“学院”）成立于2013年4月，主要负责中国科学院大学（以下简称“国科大”）全校微电子学科的建设与教育管理工作。学院经过两年的建设发展，2015年6月被教育部正式批复成为国家首批支持建设的示范性微电子学院。2015年12月，学院经中国科学院院长办公会审议通过，正式成为中国科学院大学科教融合微电子学院，依托中国科学院微电子研究所主承办。学院同时还是“国家示范性微电子学院产学研融合发展联盟”成员单位及联盟秘书处挂靠单位。 导师简介： 韦亚一，博士。 研究方向： 1. 193nm浸没式光刻工艺 2. 光学邻近效应修正（optical proximity correction） 3. 光刻材料研发和评估 4. 匀胶显影设备（track）研发 代表论著： Advanced processes for 193nm immersion lithography， SPIE Press 2009。