中国科学院微电子研究所(以下简称“微电子所”)的前身——原中国科学院109厂成立于1958年。1986年,109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月,正式更名为中国科学院微电子研究所。
微电子所的战略定位是:中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者。微电子所坚持“三个面向”“四个率先”的新时期办院方针,在集成电路先导技术、微电子器件与集成技术、物联网核心技术与应用、科教融合微电子学院建设等方面重点推进。
微电子所是国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构,是中国科学院EDA中心、中国科学院物联网研究发展中心的依托单位,是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位,是中国科学院大学微电子学院(国家示范性微电子学院)的依托单位,是中国科学院集成电路创新研究院的筹建依托单位。现拥有2个基础研究类中国科学院重点实验室(微电子器件与集成技术重点实验室、硅器件技术重点实验室),6个行业服务类研发中心(中国科学院EDA中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心、中科新芯三维存储器研发中心、电磁信息智能应用研究中心、光刻技术总体部),6个行业应用类研发中心(通信与信息工程研发中心、新能源汽车电子研发中心、健康电子研发中心、智能感知研发中心、智能制造电子研发中心、智能电子系统研发中心),4个核心产品类研发中心(硅器件与集成研发中心、高频高压器件与集成研发中心、微电子仪器设备研发中心、光电技术研发中心)。
截至2018年底,微电子所共有在职职工1091人。其中科技人员705人、科技支撑人员276人,包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、研究员及正高级工程技术人员115人、副研究员及高级工程技术人员297人。
微电子所是国务院学位委员会批准的博士学位(1996年5月获批)、硕士学位(1990年11月获批)授予权单位之一,现设有电子科学与技术、光学工程两个一级学科,其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”(2011年获批中国科学院重点学科)、“电路与系统”两个二级学科;设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站,拥有“集成电路工程”、“电子与通信工程”两个工程硕士培养点。截至2018年底,共有在学研究生889名,其中微电子所456名(博士生233人、硕士生223人),微电子学院433名,此外在站博士后21人。
微电子所是集成电路产业技术创新战略联盟秘书处、集成电路测试仪器与装备产业技术创新联盟秘书处、示范性微电子学院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处、全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组秘书处、北京电子学会半导体专业技术委员会制版(光掩模制造)分技术委员会秘书处、全域科研院所科技成果转化联盟秘书处挂靠单位。
微电子所坚持开放办所理念,坚持“企业为主体,市场为导向,产学研用结合”的对外合作思路,与北京大学、清华大学、复旦大学等高校和武汉新芯、中芯国际、上海华力、华润微电子、北方微电子等企业结为战略合作伙伴,在北京、江苏、湖北、四川、广东、湖南等省市开展科技成果转移转化,在我国微电子领域拥有广泛的影响,为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。